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项目简介

       将图像定位与激光定位技术相集成,由图像定位技术自动定位至250微米的光栅捕捉范围内,再由激光光栅定位技术实现误差为±5微米的高精度平面定位。由此构成捕捉范围宽、定位精度高的一体化精密定位系统。



所属领域

装备制造


项目成熟度

研制阶段 


合作方式

合作开发 

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